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常用真空计 电阻/皮拉尼精密变送器 真空规管

作者:admina来源:时间:2022-09-28 14:32:14浏览量:875人阅读

  常用真空计 电阻/皮拉尼精密变送器 真空规管


选型注意事项

在真空技术中,没有任何一种单一的测量方法能够涵盖整个压力范围。所以需要使用不同的传感器。真空计的选择标准是基于各种条件的

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容器中气体总压强等于各气体分压强之和。总压强测量方法可分为直接法和间接法两种。

直接法利用液柱差、机械变形等原理直接测量压强,包括液位压强计、压缩式真空计、弹性元件真空计等。根据前两种仪器测出的物理量可算出压强值,属于绝对真空计。

间接法利用气体某些物理性质(如热传导、粘滞性、电离及光散射效应等)来测量压强,包括热传导真空计、粘滞真空计及电离真空计等。在真空技术中使用的真空计绝大多数采用间接法,这些真空计必须用绝对真空计或其他方法校准。对于用间接法测量的真空计,由于不同种类气体的物理性质不同,即使在相同压强下,压强读数也随气体而异,因此要用相应的气体来校准。当被测气体不是单一成分时,这些真空计的读数的含义较为复杂。由于一般真空计校准时所采用的气体是纯氮,因此这些真空计的读数在未经气体种类修正之前统称为等效氮压强。

真空度单位的换算公式:1Torr≈1.333mbar≈133Pa

在真空技术中,没有任何一种单一的测量方法能够涵盖整个压力范围。所以需要使用不同的传感器。真空计的选择标准是基于各种条件的,如:

要检测的压力范围

气体组成:惰性或腐蚀性、氧化性

所需精度和可重复性

环境条件,如烘烤温度,干扰,放射性

在选择和安装真空计时,还必须考虑其特性和真空测量的特殊性:

由于真空室中存在潜在的压力梯度,选择适当的安装位置。

表面和密封材料呈现脱气现象。因此真空计可指示的压力高于真空室压力。连接法兰因此应该尽可能的短,且密封件数量尽量少。

电离真空计可以具有抽运效应,因此指示的压力低于真空室中的实际压力。

冷阴极真空计具有固有的溅射效应,这在中真空范围内与重型气体(如氩)一起操作时尤为明显。这可导致不一致和不准确的读数。

当烃类存在时,电离真空计受到有机分子分解产物的污染。如同溅射效应一样,读数不正确或不一致。必须选择电离真空计的开关点,以避免因上述现象导致的污染。

强磁场和电场会影响真空计的功能。这尤其适用于电离真空计。

为能够产生超高真空,必须对真空设备,包括真空计进行烘烤。必须遵守技术数据中规定的最大烘烤温度和条件。

使用其他测量原理的,通常可以更换传感器。受到污染,冷阴极真空计可以很容易地拆卸和清洗;热阴极真空计与皮拉尼真空计通常更换灯丝或传感器。

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