XPS-7半导体材料气体检测仪
一、产品介绍
1、只要更换传感器单元就可以检测各种对象气体。
2、用盒式传感器单元无需进行气体检测器校正。
3、可以大幅度削减本钱和维护时间。
二、产品参数
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型号 |
XPS-7 |
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检测原理 |
定电位电解式 |
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检测气体对象 |
半导体材料气体 |
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丈量范围 |
根据规格 |
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分解能 |
全量程的百分之一表示 |
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指示精度 |
FS±10%以内 |
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报警模式 |
2段报警方式 |
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报警方式 |
蜂叫器(断续音)、报警灯闪烁 |
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应答时间 |
60秒以内(60%应答) |
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电源 |
5号碱性干电池4节或AC变压器 |
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电池使用时间 |
连续12小时以上（使用碱性干电池无报警、20℃时） |
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外型尺寸 |
W62×H150×D128mm(部分除外) |
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检测方式 |
泵吸引式 |
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使用温度范围 |
0℃～40℃ |
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重量 |
约1.3kg |
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附件 |
肩背皮带、5号碱性干电池4节、过滤纸2张 |
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选购件 |
AC变压器、传感器通电台、数据收集配套元件 |
三、检测气体表：
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对象气体一览表 |
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型号 |
气体 |
F.S |
型号 |
气体 |
F.S |
型号 |
气体 |
F.S |
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XDS-7NH |
NH3 |
100ppm |
XDS-7GH |
GeH4 |
1ppm |
XDS-7HS |
H2S |
50ppm |
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XDS-7SH |
SiH4 |
25ppm |
XDS-7CL |
CL2 |
5ppm |
XDS-7CO |
CO |
250ppm |
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XDS-7DC |
SiH2CL2 |
25ppm |
XDS-7CF |
CLF3 |
1ppm |
XDS-7DS |
Si2H6 |
25ppm |
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XDS-7AH |
AsH3 |
250ppb |
XDS-7HC |
HCL |
25ppm |
XDS-7F2 |
F2 |
5ppm |
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XDS-7PH |
PH3 |
1ppm |
XDS-7HF |
HF |
10ppm |
XDS-7OZ |
O3 |
1ppm |
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XDS-7BH |
B2H6 |
500ppb |
XDS-7HB |
HBr |
10ppm |
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XDS-7SE |
H2Se |
250ppb |
XDS-7NO |
NO |
100ppm |
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XPS-7半导体材料气体检测仪
